リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエッチング機構の解析

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Bibliographic Information

Title
"リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエッチング機構の解析"
Other Title
  • リアルタイム ブンコウ エリプソメトリー ニヨル ハンノウセイ イオンエッチング キコウ ノ カイセキ
  • 平成7年度～平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
Statement of Responsibility
研究代表者 杉本克久
Publisher
  • [杉本克久]
Publication Year
  • 1997.3
Book size
30cm

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Notes

課題番号: 07455284

研究代表者: 杉本克久 (東北大学工学部教授)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000798239916416
  • NII Book ID
    BB10910501
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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