薄膜作製における基板表面制御に関する研究
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "薄膜作製における基板表面制御に関する研究"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 森勇藏
- Publisher
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- 大阪大学工学部
- Publication Year
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- 1991.4
- Book size
- 26 cm
- Other Title
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- ハクマク サクセイ ニ オケル キバン ヒョウメン セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
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Notes
[課題番号]: 01850031
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000798245161856
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- NII Book ID
- BB22805027
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [吹田]
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- Data Source
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- CiNii Books