薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

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書誌事項

タイトル
"薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性"
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金原粲 [ほか編]
出版者
  • リアライズ・アドバンストテクノロジ
出版年月
  • 1992.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ハクマク ノ リキガクテキ トクセイ ヒョウカ ギジュツ : トライボロジー ナイブ オウリョク ミッチャクセイ
  • 薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー内部応力密着性

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注記

編集委員長: 金原粲

編集委員: 河野彰夫, 生地文也, 馬場茂

文献: 節末

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000798337757696
  • NII書誌ID
    BA74346672
  • ISBN
    4898080618
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
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