超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属/半導体接合の形成

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Bibliographic Information

Title
"超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属/半導体接合の形成"
Statement of Responsibility
室田淳一研究代表
Publisher
  • [室田淳一]
Publication Year
  • 2004.3
Book size
30cm
Other Title
  • チョウコウキャリア ノウド ハンドウタイ コウゾウ オ モチイタ チョウテイテイコウ キンゾク ハンドウタイ セツゴウ ノ ケイセイ
  • 平成13年度～平成15年度科学研究費補助金基盤研究(A)(2)研究成果報告書 : 課題番号 13355013
  • 超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属半導体接合の形成

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課題番号: 13355013

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000798350905216
  • NII Book ID
    BB1022170X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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