よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
CiNii
所蔵館 62館
書誌事項
- タイトル
- "よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する"
- 責任表示
- 佐藤淳一著
- 出版者
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- 秀和システム
- 第3版
- 出版年月
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- 2019.12
- 書籍サイズ
- 21cm
- タイトル別名
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- ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル
- 図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本と仕組み
- 半導体製造装置の基本と仕組み : よくわかる最新 : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
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注記
参考文献: p261
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130003902958981632
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- NII書誌ID
- BB29506829
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- ISBN
- 9784798060378
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- 件名
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- BSH: 半導体
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- データソース種別
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- CiNii Books