よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
CiNii
所蔵館 64館
書誌事項
- タイトル
- "よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する"
- 責任表示
- 佐藤淳一著
- 出版者
-
- 秀和システム
- 第3版
- 出版年月
-
- 2019.12
- 書籍サイズ
- 21cm
- タイトル別名
-
- ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル
- 図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本と仕組み
- 半導体製造装置の基本と仕組み : よくわかる最新 : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
この図書・雑誌をさがす
注記
参考文献: p261
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130003902958981632
-
- NII書誌ID
- BB29506829
-
- ISBN
- 9784798060378
-
- 本文言語コード
- ja
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- 東京
-
- 件名
-
- BSH: 半導体
-
- データソース種別
-
- CiNii Books