In-line characterization techniques for performance and yield enhancement in microelectronic manufacturing : 1-2 October 1997, Austin, Texas

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書誌事項

タイトル
"In-line characterization techniques for performance and yield enhancement in microelectronic manufacturing : 1-2 October 1997, Austin, Texas"
タイトル別名
  • In line characterization techniques for performance and yield enhancement in microelectronic manufacturing
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Damon K. DeBusk, Sergio Ajuria, chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--The International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, Solid State Technology, the Electrochemical Society
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1997
書籍サイズ
28 cm

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1971149384836525835
  • NII書誌ID
    BC06945645
  • ISBN
    0819426474
  • LCCN
    98125245
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/98125245
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Bellingham, Wash., USA
  • 分類
  • データソース種別
    • NACSIS-CAT/ILL
    • CiNii Books
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