イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲッタリング機構の定量的解析

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Bibliographic Information

Title
"イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲッタリング機構の定量的解析"
Statement of Responsibility
研究代表者 友清芳二
Publisher
  • [九州大学]
Publication Year
  • 1997.3
Book size
30cm
Other Title
  • イメージング プレート デンシ カイセツ ニヨル ハンドウタイ デバイス ノ ゲッタリング キコウ ノ テイリョウテキ カイセキ
  • 平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 07455010

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Notes

研究分担者:松村晶

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282268674562816
  • NII Book ID
    BA67674569
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [福岡]
  • Data Source
    • CiNii Books
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