ゾルーゲル法による透明厚膜の作製と微細加工プロセスへの応用

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Bibliographic Information

Title
"ゾルーゲル法による透明厚膜の作製と微細加工プロセスへの応用"
Statement of Responsibility
研究代表者 南努
Publisher
  • [南努]
Publication Year
  • 2001.3
Book size
30cm
Other Title
  • ゾルーゲルホウ ニ ヨル トウメイ コウマク ノ サクセイ ト ビサイ カコウ プロセス エノ オウヨウ

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Notes

研究課題番号: 11555239

研究分担者: 辰巳砂昌弘, 忠永清治, 松田厚範, 前田浩一

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282268686830464
  • NII Book ID
    BA53599498
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [堺]
  • Data Source
    • CiNii Books
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