Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing
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書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing"
- 責任表示
- editors, G.S. Mathad, M. Meyyappan ; [sponsored by] Dielectric Science and Technology and electronics Divisions
- 出版者
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- the Electrochemical Society, Inc.
- 出版年月
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- c1996
- 書籍サイズ
- 23 cm
- タイトル別名
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- Plasma processing XI
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268705838080
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- NII書誌ID
- BA29982351
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- ISBN
- 1566771641
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- データソース種別
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- CiNii Books
