高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発

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Bibliographic Information

Title
"高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発"
Statement of Responsibility
研究代表者:伊藤吾朗
Publisher
  • 軽金属奨学会
Publication Year
  • [2000]
Book size
30cm
Other Title
  • コウ シュウセキ カイロ ハイセンヨウ コウセイノウ アルミニウム ゴウキン ノ カイハツ
  • Development of high performance aluminum alloys for the interconnection in highly integrated large scale circuits

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282268706739584
  • NII Book ID
    BA48003522
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 大阪
  • Classification
  • Data Source
    • CiNii Books
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