非平衡RFプラズマ空間中に浮遊する微粒子の動力学的挙動の解析
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "非平衡RFプラズマ空間中に浮遊する微粒子の動力学的挙動の解析"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 島田学
- Publisher
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- 広島大学大学院工学研究科
- Publication Year
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- 2006.5
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- ヒヘイコウ RF プラズマ クウカンチュウ ニ フユウ スル ビリュウシ ノ ドウリョクガクテキ キョドウ ノ カイセキ
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Notes
課題番号: 15360413
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268714524672
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- NII Book ID
- BA77755419
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- 東広島
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- Data Source
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- CiNii Books