Advances in resist technology and processing VII : 5-6 March, 1990, San Jose, California

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書誌事項

タイトル
"Advances in resist technology and processing VII : 5-6 March, 1990, San Jose, California"
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Michael P. C. Watts Chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版者
  • International Society for Optical Engineering
出版年月
  • c1990
書籍サイズ
28 cm

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注記

Includes bibliographical references and index

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282268811895296
  • NII書誌ID
    BA26792462
  • ISBN
    0819403091
  • LCCN
    90060892
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/90060892
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Bellingham, Wash., USA
  • データソース種別
    • CiNii Books
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