III-V族化合物半導体デバイスプロセスにおけるAIN絶縁膜の応用に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "III-V族化合物半導体デバイスプロセスにおけるAIN絶縁膜の応用に関する研究"
- タイトル別名
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- III-Vゾク カゴウブツ ハンドウタイ デバイス プロセス ニ オケル AINゼツエンマク ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 責任表示
- 工藤昌宏[著]
- 出版者
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- 工藤昌宏
- 出版年月
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- 2012.3
- 書籍サイズ
- 31cm
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注記
博士論文(北陸先端科学技術大学院大学 , 2012 , 博材第312号)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268830438784
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- NII書誌ID
- BB19218577
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [能美]
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- データソース種別
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- CiNii Books
