III-V族化合物半導体デバイスプロセスにおけるAIN絶縁膜の応用に関する研究

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Bibliographic Information

Title
"III-V族化合物半導体デバイスプロセスにおけるAIN絶縁膜の応用に関する研究"
Other Title
  • III-Vゾク カゴウブツ ハンドウタイ デバイス プロセス ニ オケル AINゼツエンマク ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Statement of Responsibility
工藤昌宏[著]
Publisher
  • 工藤昌宏
Publication Year
  • 2012.3
Book size
31cm

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Notes

博士論文(北陸先端科学技術大学院大学 , 2012 , 博材第312号)

Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282268830438784
  • NII Book ID
    BB19218577
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [能美]
  • Data Source
    • CiNii Books
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