Chemical vapour deposition (CVD) : advances, technology and applications

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書誌事項

タイトル
"Chemical vapour deposition (CVD) : advances, technology and applications"
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edited by Kwang Leong Choy
出版者
  • CRC Press
出版年月
  • c2019
書籍サイズ
26 cm
シリーズ名/番号
  • : hardback

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