Advanced Processing of Semiconductor Devices II : 17-18 March 1988, Newport Beach, California
書誌事項
- タイトル
- "Advanced Processing of Semiconductor Devices II : 17-18 March 1988, Newport Beach, California"
- 責任表示
- Harold G. Craighead, J. Narayan, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organization, the Metallurgical Society
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1988
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographies and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268906515968
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- NII書誌ID
- BA10254734
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- ISBN
- 0892529806
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- LCCN
- 88060789
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/88060789
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC19: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books