分子層エピタキシャル法による単結晶サファイア薄膜の集積回路素子応用への基礎的研究

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Bibliographic Information

Title
"分子層エピタキシャル法による単結晶サファイア薄膜の集積回路素子応用への基礎的研究"
Statement of Responsibility
大矢銀一郎研究代表者
Publisher
  • [大矢銀一郎]
Publication Year
  • 1988.3
Book size
26cm
Other Title
  • ブンシソウ エピタキシャルホウ ニ ヨル タンケッショウ サファイア ハクマク ノ シュウセキ カイロ ソシ オウヨウ エ ノ キソテキ ケンキュウ
  • 昭和61・62年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書 : (研究課題番号 61460121)

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Notes

課題番号: 61460121

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282268907651328
  • NII Book ID
    BB12792472
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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