書誌事項
- タイトル
- "Diazonaphthoquinone-based resists"
- 責任表示
- Ralph Dammel
- 出版者
-
- SPIE Optical Engineering Press
- 出版年月
-
- c1993
- 書籍サイズ
- 26 cm
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographical references and index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282268909682048
-
- NII書誌ID
- BA82982555
-
- ISBN
- 0819410195
-
- LCCN
- 92025724
-
- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92025724
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Bellingham, Wash., USA
-
- 分類
-
- LCC: TK7874
- DC20: 621.3815/31
-
- 件名
-
- LCSH: Photoresists
- LCSH: Masks (Electronics)
-
- データソース種別
-
- CiNii Books
