レーザー駆動マイクロマシン用ムーバの3次元ナノ構造形成システムの開発

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Bibliographic Information

Title
"レーザー駆動マイクロマシン用ムーバの3次元ナノ構造形成システムの開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 河田聡
Publisher
  • 大阪大学大学院工学研究科
Publication Year
  • 1996.4
Book size
30 cm
Other Title
  • レーザー クドウ マイクロ マシンヨウ ムーバ ノ 3ジゲン ナノ コウゾウ ケイセイ システム ノ カイハツ

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Notes

課題番号: 06555121

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282268915316224
  • NII Book ID
    BB25941225
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [吹田]
  • Data Source
    • CiNii Books
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