光・プラズマアシスト気相成長法による立方晶窒化ホウ素薄膜の作製
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Bibliographic Information
- Title
- "光・プラズマアシスト気相成長法による立方晶窒化ホウ素薄膜の作製"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 杉野隆
- Publisher
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- 大阪大学工学部
- Publication Year
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- 1996.3
- Book size
- 30 cm
- Other Title
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- ヒカリ プラズマ アシスト キソウ セイチョウホウ ニ ヨル リッポウショウ チッカ ホウソ ハクマク ノ サクセイ
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Notes
課題番号: 06650021
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268963307264
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- NII Book ID
- BB2570651X
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- Text Lang
- en
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
-
- [吹田]
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- Data Source
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- CiNii Books