Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A.

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書誌事項

タイトル
"Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A."
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editors, Tomas Diaz de la Rubia ... [et al.]
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c1997
書籍サイズ
24 cm

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