フォトファブリケーションによるマイクロアクチュエータ
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書誌事項
- タイトル
- "フォトファブリケーションによるマイクロアクチュエータ"
- 責任表示
- 研究代表者 江刺正喜
- 出版者
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- [江刺正喜]
- 出版年月
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- 1995.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- フォトファブリケーション ニヨル マイクロアクチュエータ
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注記
課題番号: 03102001
平成3～6年度文部省科学研究費補助金(特別推進研究)研究成果報告書
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269006564736
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- NII書誌ID
- BB1277799X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books