誘導結合フロロカーボンプラズマの特性の理論的研究

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Bibliographic Information

Title
"誘導結合フロロカーボンプラズマの特性の理論的研究"
Statement of Responsibility
南部健一研究代表
Publisher
  • [南部健一]
Publication Year
  • 2004.5
Book size
30cm
Other Title
  • ユウドウ ケツゴウ フロロカーボン プラズマ ノ トクセイ ノ リロンテキ ケンキュウ
  • 平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号14350088)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282269008237696
  • NII Book ID
    BB10130003
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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