Proceedings of the Symposium on Laser Processes for Microelectronic Applications
書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the Symposium on Laser Processes for Microelectronic Applications"
- 責任表示
- edited by J.J. Ritsko, D.J. Ehrlich, M. Kashiwagi
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c1988
- 書籍サイズ
- 23 cm
- タイトル別名
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- Laser processes for microelectronic applications
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注記
Includes bibliographical references and index
"... held in Honolulu, Hawaii, October 21-22, 1987" -- on pref
"Dielectrics and Insulation and Electronics Divisions"
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269011997056
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- NII書誌ID
- BA84957071
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- LCCN
- 88080925
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/88080925
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- データソース種別
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- CiNii Books
