レーザビーム描画による紫外線感光性樹脂を利用したマイクロストラクチュアの製造
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "レーザビーム描画による紫外線感光性樹脂を利用したマイクロストラクチュアの製造"
- 責任表示
- 山口勝美 [ほか著]
- 出版者
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- [出版者不明]
- 出版年月
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- 1996.3
- タイトル別名
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- レーザビーム ビョウガ ニ ヨル シガイセン カンコウセイ ジュシ オ リヨウ シタ マイクロストラクチュア ノ セイゾウ
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注記
課題番号:06452159
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269053964800
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- NII書誌ID
- BA35234260
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [出版地不明]
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- データソース種別
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- CiNii Books