新型マイクロ波モードを用いた大面積薄膜製造装置
Bibliographic Information
- Title
- "新型マイクロ波モードを用いた大面積薄膜製造装置"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者河合良信
- Publisher
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- [九州大学]
- Publication Year
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- 1998.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- シンガタ マイクロハ モード オ モチイタ ダイメンセキ ウスマク セイゾウ ソウチ
- 平成8年度科学研究費補助金(基盤研究A(2))研究成果報告書(研究課題番号07558180)
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Notes
科学研究費補助金(基盤研究A(2))研究成果報告書 平成7年度〜平成8年度
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269224052992
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- NII Book ID
- BA37156849
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [福岡]
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- Data Source
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- CiNii Books
