書誌事項
- タイトル
- "Silicon, chemical etching"
- 責任表示
- editor, J. Grabmaier ; with contributions by R.B. Heimann ... [et al.]
- 出版者
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- Springer-Verlag
- 出版年月
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- 1982
- 書籍サイズ
- 25 cm
- シリーズ名/番号
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- : U.S.
- : Germany
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269243594112
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- NII書誌ID
- BA0041292X
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- ISBN
- 0387118624
- 3540118624
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- LCCN
- 82016769
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/82016769
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Berlin ; New York
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- 件名
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- LCSH: Silicon -- Addresses, essays, lectures
- LCSH: Crystals -- Etching -- Addresses, essays, lectures
- NDLSH: シリコン
- NDLSH: 結晶
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- データソース種別
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- CiNii Books