電気化学的微細加工技術の開発とマイクロ化電極の応用に関する研究

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書誌事項

タイトル
"電気化学的微細加工技術の開発とマイクロ化電極の応用に関する研究"
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内田勇研究代表者
出版者
  • [内田勇]
出版年月
  • 1991.10
書籍サイズ
26cm
タイトル別名
  • デンキ カガクテキ ビサイ カコウ ギジュツ ノ カイハツ ト マイクロカ デンキョク ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
  • 平成元年~2年度科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書 : (研究課題番号 01850175)

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注記

課題番号: 01850175

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282269337601152
  • NII書誌ID
    BB12317333
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [仙台]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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