トンネル分光法を用いたシリサイド/シリコン界面の評価と水素終端効果の研究
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "トンネル分光法を用いたシリサイド/シリコン界面の評価と水素終端効果の研究"
- Statement of Responsibility
- 財満鎭明[ほか著]
- Publisher
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- [出版者不明]
- Publication Year
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- 1997.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- トンネル ブンコウホウ オ モチイタ シリサイド シリコン カイメン ノ ヒョウカ ト スイソ シュウタン コウカ ノ ケンキュウ
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Notes
研究課題番号:07455024
研究分担者:岩野博隆
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269362570368
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- NII Book ID
- BA35298864
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [出版地不明]
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- Data Source
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- CiNii Books