高感度光電子収率分光による極めて薄い酸化膜 : シリコン界面の欠陥密度定量評価

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Bibliographic Information

Title
"高感度光電子収率分光による極めて薄い酸化膜 : シリコン界面の欠陥密度定量評価"
Other Title
  • コウカンド コウデンシ シュウリツ ブンコウ ニヨル キワメテ ウスイ サンカマク : シリコン カイメン ノ ケッカン ミツド テイリョウ ヒョウカ
  • 高感度光電子収率分光による極めて薄い酸化膜シリコン界面の欠陥密度定量評価
Statement of Responsibility
研究代表者 宮崎誠一
Publisher
  • [宮崎誠一]
Publication Year
  • 1998.3
Book size
30cm

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Notes

[課題番号] : 08455147

研究代表者: 宮崎誠一(広島大学工学部助教授)

研究分担者: 廣瀬全孝

参考文献あり

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282269364552960
  • NII Book ID
    BB28549327
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [東広島]
  • Data Source
    • CiNii Books
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