書誌事項
- タイトル
- "Dielectric films for advanced microelectronics"
- 責任表示
- edited by Mikhail Baklanov, Martin Green and Karen Maex
- 出版者
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- John Wiley & Sons
- 出版年月
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- c2007
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269381029632
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- NII書誌ID
- BA82705952
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- ISBN
- 9780470013601
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- LCCN
- 2006030740
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2006030740
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- uk
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Chichester, England ; Hoboken, N.J.
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- 分類
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- LCC: TK7871.15.F5
- DC22: 621.381
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- 件名
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- LCSH: Dielectric films
- LCSH: Microelectronics -- Materials
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- データソース種別
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- CiNii Books
