Interconnect and contact metallization for ULSI : proceedings of the international symposium
書誌事項
- タイトル
- "Interconnect and contact metallization for ULSI : proceedings of the international symposium"
- 責任表示
- editors, G.S. Mathad ...[et al.]
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c2000
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographies and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269445285504
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- NII書誌ID
- BA53255987
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- ISBN
- 1566772540
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- LCCN
- 00103066
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/00103066
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, N.J.
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- データソース種別
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- CiNii Books
