機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

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書誌事項

タイトル
"機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発"
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研究代表者 佐藤直幸
出版者
  • [茨城大学大学院理工学研究科]
出版年月
  • 2008.5
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • キノウセイ フクゴウ カゴウブツ ザイリョウ ノ ゴウセイ ニムケタ センタクテキ ウンドウリョウ セイギョガタ プラズマ セイマク ギジュツ ノ カイハツ

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注記

研究課題番号: 16360356

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282269466379136
  • NII書誌ID
    BA86746918
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [日立]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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