過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による疑似単結晶シリコン形成技術の研究
Bibliographic Information
- Title
- "過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による疑似単結晶シリコン形成技術の研究"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 宮尾正信
- Publisher
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- [九州大学]
- Publication Year
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- 2003.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- カジョウ クウコウ ノ ドウニュウ オヨビ ソノ カンワ カテイ セイギョ ニヨル ギジタン ケッショウ シリコン ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
- 平成12年度-平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(12450015)
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Notes
研究分担者:佐道泰造ほか
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269505313152
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- NII Book ID
- BA63919278
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [福岡]
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- Data Source
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- CiNii Books