MEMS技術を用いたプラスチック基板への埋め込み・配線技術の確立
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書誌事項
- タイトル
- "MEMS技術を用いたプラスチック基板への埋め込み・配線技術の確立"
- 責任表示
- 研究代表者 服部励治
- 出版者
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- [九州大学]
- 出版年月
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- 2006.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- MEMS ギジュツ オ モチイタ プラスチック キバン エノ ウメコミ ハイセン ギジュツ ノ カクリツ
- 平成15年度～17年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書
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課題番号: 15206042
研究分担者: 池田晃裕
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269665084800
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- NII書誌ID
- BA77404582
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福岡]
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- データソース種別
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- CiNii Books