MEMS技術を用いたプラスチック基板への埋め込み・配線技術の確立

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書誌事項

タイトル
"MEMS技術を用いたプラスチック基板への埋め込み・配線技術の確立"
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研究代表者 服部励治
出版者
  • [九州大学]
出版年月
  • 2006.5
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • MEMS ギジュツ オ モチイタ プラスチック キバン エノ ウメコミ ハイセン ギジュツ ノ カクリツ
  • 平成15年度~17年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

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課題番号: 15206042

研究分担者: 池田晃裕

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282269665084800
  • NII書誌ID
    BA77404582
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [福岡]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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