Low-dielectric constant materials : synthesis and applications in microelectronics : symposium held April 17-19, 1995, San Francisco, California, U.S.A.
書誌事項
- タイトル
- "Low-dielectric constant materials : synthesis and applications in microelectronics : symposium held April 17-19, 1995, San Francisco, California, U.S.A."
- 責任表示
- editors, T.-M. Lu ... [et al.]
- 出版者
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- Materials Research Society
- 出版年月
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- c1995
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269774387456
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- NII書誌ID
- BA26261943
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- ISBN
- 1558992847
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- LCCN
- 95024450
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/95024450
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pittsburgh, Pa.
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- データソース種別
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- CiNii Books