マイクロマシニングによる高周波MEMSデバイス
CiNii
Available at 1 libraries
Bibliographic Information
- Title
- "マイクロマシニングによる高周波MEMSデバイス"
- Statement of Responsibility
- 江刺正喜研究代表
- Publisher
-
- [江刺正喜]
- Publication Year
-
- 2007.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
-
- マイクロマシニング ニ ヨル コウシュウハ MEMS デバイス
- 平成16年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書 : 16201027
Search this Book/Journal
Notes
課題番号: 16201027
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282269886762880
-
- NII Book ID
- BB10351986
-
- Country Code
- ja
-
- Title Language Code
- ja
-
- Place of Publication
-
- [仙台]
-
- Data Source
-
- CiNii Books
