変形マグネトロン型プラズマ源の開発
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "変形マグネトロン型プラズマ源の開発"
- Statement of Responsibility
- 佐藤徳芳研究代表者
- Publisher
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- [佐藤徳芳]
- Publication Year
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- 1999.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- ヘンケイ マグネトロンガタ プラズマゲン ノ カイハツ
- 平成8-10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号08558043)
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269925522560
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- NII Book ID
- BB02946693
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books