光の近接場を利用した微細加工

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Bibliographic Information

Title
"光の近接場を利用した微細加工"
Statement of Responsibility
研究代表者 片岡俊彦
Publisher
  • 大阪大学工学部
Publication Year
  • 1996.4
Book size
30 cm
Other Title
  • ヒカリ ノ キンセツバ ヲ リヨウ シタ ビサイ カコウ

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Notes

課題番号: 05555044

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282269931227520
  • NII Book ID
    BB25978258
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [吹田]
  • Data Source
    • CiNii Books
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