ナノインプリントにおける離型問題の評価とその対策

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Bibliographic Information

Title
"ナノインプリントにおける離型問題の評価とその対策"
Statement of Responsibility
谷口淳, 好野則夫, 坂井信支執筆
Publisher
  • リアライズ理工センター
Publication Year
  • 2010.5
Book size
30cm
Other Title
  • ナノインプリント ニオケル リガタ モンダイ ノ ヒョウカ ト ソノ タイサク

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Notes

参考文献: 各章末

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282270176893824
  • NII Book ID
    BB17017723
  • ISBN
    9784898081051
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 東京
  • Classification
  • Subject
  • Data Source
    • CiNii Books
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