準安定原子のペニングイオン化を用いた半導体表面上の金属原子吸着の研究

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Bibliographic Information

Title
"準安定原子のペニングイオン化を用いた半導体表面上の金属原子吸着の研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 西垣敏
Publisher
  • 西垣敏
Publication Year
  • 1987.3
Book size
26cm
Other Title
  • ジュン アンテイ ゲンシ ノ ペニング イオンカ オ モチイタ ハンドウタイ ヒョウメンジョウ ノ キンゾク ゲンシ キュウチャク ノ ケンキュウ
  • 昭和61年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書

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Notes

研究課題番号: 60550009

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282270346424320
  • NII Book ID
    BA64122216
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [豊橋]
  • Classification
  • Data Source
    • CiNii Books
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