X-ray lithography and applications of soft x-rays to technology : October 19-20, 1983, Upton, New York
書誌事項
- タイトル
- "X-ray lithography and applications of soft x-rays to technology : October 19-20, 1983, Upton, New York"
- 責任表示
- Alan D. Wilson, chairman/editor ; cosponsors, National Synchrotron Light Source/Brookhaven National Laboratory, SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- S.P.I.E.-- International Society for Optical Engineering
- 出版年月
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- 1984
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
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注記
Includes bibliographies and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270353202304
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- NII書誌ID
- BA23963864
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- ISBN
- 0892524839
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- LCCN
- 83051563
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/83051563
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- 分類
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- LCC: TK7836
- DC19: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books