X-ray lithography and applications of soft x-rays to technology : October 19-20, 1983, Upton, New York

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書誌事項

タイトル
"X-ray lithography and applications of soft x-rays to technology : October 19-20, 1983, Upton, New York"
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Alan D. Wilson, chairman/editor ; cosponsors, National Synchrotron Light Source/Brookhaven National Laboratory, SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版者
  • S.P.I.E.-- International Society for Optical Engineering
出版年月
  • 1984
書籍サイズ
28 cm
シリーズ名/番号
  • pbk.

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注記

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1970304959823793579
  • NII書誌ID
    BA23963864
  • ISBN
    0892524839
  • LCCN
    83051563
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/83051563
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Bellingham, Wash., USA
  • 分類
  • データソース種別
    • NACSIS-CAT/ILL
    • CiNii Books
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