超クリーンクローズド多重湿式プロセス装置を用いた超純水中のシリコン表面状態の研究
CiNii
Available at 1 libraries
Bibliographic Information
- Title
- "超クリーンクローズド多重湿式プロセス装置を用いた超純水中のシリコン表面状態の研究"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 岩崎裕
- Publisher
-
- 大阪大学産業科学研究所
- Publication Year
-
- 1995.3
- Book size
- 30 cm
- Other Title
-
- チョウクリーンクローズド ダジュウ シッシキ プロセス ソウチ ヲ モチイタ チョウジュンスイチュウ ノ シリコン ヒョウメン ジョウタイ ノ ケンキュウ
Search this Book/Journal
Notes
[課題番号]: 04452092
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282270397220352
-
- NII Book ID
- BB24056485
-
- Text Lang
- ja
-
- Country Code
- ja
-
- Title Language Code
- ja
-
- Place of Publication
-
- [茨木]
-
- Data Source
-
- CiNii Books
