41st R3-Nordic Symposium : Cleanroom technology, contamination control and cleaning : Dipoli, Espoo, Finland, May 25-26, 2010

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書誌事項

タイトル
"41st R3-Nordic Symposium : Cleanroom technology, contamination control and cleaning : Dipoli, Espoo, Finland, May 25-26, 2010"
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edited by Gun Wirtanen & Satu Salo
出版者
  • VTT
出版年月
  • c2010
書籍サイズ
25 cm

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282270409213056
  • NII書誌ID
    BB04600077
  • ISBN
    9789513875954
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    fi
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • [Helsinki], Finland
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
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