超精密旋盤用真空チャック面の熱変形・弾性変形による形状変化
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "超精密旋盤用真空チャック面の熱変形・弾性変形による形状変化"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 横山和宏
- Publisher
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- [横山和宏]
- Publication Year
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- 1990.3
- Book size
- 26cm
- Other Title
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- チョウセイミツ センバンヨウ シンクウ チャックメン ノ ネツ ヘンケイ・ダンセイ ヘンケイ ニ ヨル ケイジョウ ヘンカ
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Notes
研究課題番号: 63550101
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270477107840
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- NII Book ID
- BB07802001
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [新潟]
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- Data Source
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- CiNii Books