Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製

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Bibliographic Information

Title
"Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製"
Statement of Responsibility
宮崎修一研究代表
Publisher
  • [宮崎修一]
Publication Year
  • 2006.3
Book size
30cm
Other Title
  • Ti-Ni ケイジョウ キオク ゴウキン スパッタ ハクマク オ モチイタ キョウリョク ダイヘンイ マイクロ アクチュエータ ノ サクセイ

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Notes

課題番号: 14205099

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282270480076032
  • NII Book ID
    BA77548800
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [つくば]
  • Data Source
    • CiNii Books
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