LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD
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Bibliographic Information
- Title
- "LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 白谷正治
- Publisher
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- [九州大学]
- Publication Year
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- 2004.5
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- LSIナイ ビサイ ドウ ハイセン ノ タメ ノ プラズマ イホウセイ CVD
- 平成14-15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号14350021)
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270509418752
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- NII Book ID
- BA68687544
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [福岡]
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- Data Source
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- CiNii Books