サブハーフミクロンのパターニングが可能なポジ型レジスト高分子材料の開発

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Bibliographic Information

Title
"サブハーフミクロンのパターニングが可能なポジ型レジスト高分子材料の開発"
Statement of Responsibility
松田実研究代表者
Publisher
  • [松田実]
Publication Year
  • 1992.3
Book size
25cm
Other Title
  • サブハーフミクロン ノ パターニング ガ カノウ ナ ポジガタ レジスト コウブンシ ザイリョウ ノ カイハツ
  • 平成3年度(試験研究B(1))文部省科学研究費補助金研究成果報告書 : (課題番号02555181)

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課題番号: 02555181

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282270604704128
  • NII Book ID
    BB12332213
  • Text Lang
    en
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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